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*08:40JST エア・ウォーター、半導体製造装置向けOリングを開発 エア・ウォーター<4088> 子会社であるエア・ウォーター・マッハが、350度の高耐熱性能を有するパーフルオロエラアストマー（FFKM）製Oリングの開発に成功したと発表している。Oリングとは、各種産業機械で使用されるゴム製の密封用部品で、機械への流体の侵入・漏出を防ぐ目的で使用される。過酷な化学環境の下で使用される半導体製造装置向けとしての採用が期待される。